冠亚制冷 Chiller 7℃~40℃

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度准确控制，产品有流体氟化液控温（低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。