冠亚制冷 Chiller -80℃~80℃ -100℃~80℃ 复叠制冷

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度准确控制，产品有流体氟化液控温（低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行管理监控记录。

40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。
chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。
Chiller 氦检测，安规检测，确保系统安全可靠。
chiller 经过24小时连续运行拷机。
冷凝器 微通道换热器（风冷）板式换热器（水冷）